1.Интегриран дизајн на оптички металографски микроскоп и микроскоп со атомска сила, моќни функции
2. Има функции за сликање со оптички микроскоп и микроскоп со атомска сила, и двете можат да работат истовремено без да влијаат едни на други
3. Во исто време, ги има функциите на оптичко дводимензионално мерење и тридимензионално мерење со микроскоп на атомска сила
4. Главата за ласерско откривање и фазата на скенирање примерок се интегрирани, структурата е многу стабилна, а анти-мешањето е силно
5. Прецизен уред за позиционирање на сонда, прилагодувањето на порамнувањето со ласерско место е многу лесно
6. Погонскиот примерок со една оска автоматски се приближува до сондата вертикално, така што врвот на иглата се скенира нормално на примерокот
7. Интелигентниот метод за напојување со игла на пиезоелектрична керамичка автоматска детекција под притисок контролиран од мотор ги штити сондата и примерокот
8. Систем за оптичко позиционирање со ултра-високо зголемување за да се постигне прецизно позиционирање на сондата и областа за скенирање примероци
9. Интегриран кориснички уредник за нелинеарна корекција на скенер, карактеризација на нанометар и точност на мерење подобри од 98%
Спецификации:
| Работен режим | режим на допир, режим на допир |
| Изборен режим | Триење/латерална сила, амплитуда/фаза, магнетна/електростатска сила |
| крива на спектарот на сили | Крива на сила FZ, крива RMS-Z |
| Опсег на скенирање XY | 50*50um, опционално 20*20um, 100*100um |
| Опсег на скенирање Z | 5um, опционално 2um, 10um |
| Резолуција на скенирање | Хоризонтална 0,2nm, Вертикална 0,05nm |
| Големина на примерокот | Φ≤68mm, H≤20mm |
| Примерок за патување на сцената | 25 * 25 мм |
| Оптички окулар | 10X |
| Оптичка цел | 5X/10X/20X/50X План Апохроматски цели |
| Метод на осветлување | Систем за осветлување LE Kohler |
| Оптичко фокусирање | Груб рачен фокус |
| Камера | CMOS сензор од 5 MP |
| приказ | 10,1 инчен рамен екран со функција за мерење поврзана со графикон |
| Брзина на скенирање | 0,6Hz-30Hz |
| Агол на скенирање | 0-360° |
| Оперативна средина | Оперативен систем Windows XP/7/8/10 |
| Комуникациски интерфејс | USB2.0/3.0 |
