1. Интегриран дизајн на оптички металографски микроскоп и микроскоп со атомска сила, моќни функции
2. Има функции за сликање со оптички микроскоп и микроскоп со атомска сила, и двете можат да работат истовремено без да влијаат едни на други
3. Може да работи во обична воздушна средина, течна средина, средина за контрола на температурата и средина за контрола на инертен гас во исто време
4. Табелата за скенирање примероци и главата за ласерско откривање се дизајнирани во затворен тип, а специјален гас може да се наполни и испушти внатре, без додавање капак за запечатување
5. Ласерското откривање прифаќа вертикален дизајн на оптичка патека и може да работи под течност со двонаменскиот држач за сонда со гас-течна
6. Погонскиот примерок со една оска автоматски се приближува до сондата вертикално, така што врвот на иглата се скенира нормално на примерокот
7. Интелигентниот метод за напојување со игла на пиезоелектрична керамичка автоматска детекција под притисок контролиран од мотор ги штити сондата и примерокот
8. Систем за оптичко позиционирање со ултра-високо зголемување за да се постигне прецизно позиционирање на сондата и областа за скенирање примероци
9. Интегриран кориснички уредник за нелинеарна корекција на скенер, карактеризација на нанометар и точност на мерење подобри од 98%
Спецификации:
Работен режим | режим на допир, режим на допир |
Изборен режим | Триење/латерална сила, амплитуда/фаза, магнетна/електростатска сила |
крива на спектарот на сили | Крива на сила FZ, крива RMS-Z |
Опсег на скенирање XY | 50*50um, опционално 20*20um, 100*100um |
Опсег на скенирање Z | 5um, опционално 2um, 10um |
Резолуција на скенирање | Хоризонтална 0,2nm, Вертикална 0,05nm |
Големина на примерокот | Φ≤68mm, H≤20mm |
Примерок за патување на сцената | 25 * 25 мм |
Оптички окулар | 10X |
Оптичка цел | 5X/10X/20X/50X План Апохроматски цели |
Метод на осветлување | Систем за осветлување LE Kohler |
Оптичко фокусирање | Груб рачен фокус |
Камера | CMOS сензор од 5 MP |
приказ | 10,1 инчен рамен екран со функција за мерење поврзана со графикон |
Опрема за греење | Опсег на контрола на температурата: собна температура ~ 250 ℃ (опционално) |
Топла и ладна интегрирана платформа | Опсег на контрола на температурата: -20℃~220℃ (опционално) |
Брзина на скенирање | 0,6Hz-30Hz |
Агол на скенирање | 0-360° |
Оперативна средина | Оперативен систем Windows XP/7/8/10 |
Комуникациски интерфејс | USB2.0/3.0 |